国产芯片光刻胶取得突破!人工智能和材料科学“国家队”找到研发新路径
来源:上观新闻光刻胶是芯片制造的核心材料之一,其质量直接影响芯片的性能和成品率。记者昨天从上海人工智能实验室获悉,在新一代人工智能国家科技重大专项支持下,这家科研机构与厦门大学、苏州实验室等单位合作,基于“书生”科学大模型和“书生”科学发现平台,研制出高纯度、高一致性、高效率的KrF(氟化氪)光刻胶树脂。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖极少数国外企业的“黑箱能力”,探索出一条可标准化、快速迭代的芯片材料研发新路径。目前,联合攻关团队已建立从AI决策到自动化合成的闭环研发体系,支撑多批次自动化合成和性能验证,批次间一致性持续上升。恒坤新材公司在这个体系支撑下,完成了光刻胶树脂适配,关键性能指标均达预期,后续将进入客户端验证阶段。上海人工智能实验室介绍,KrF光刻胶树脂是决定光刻胶整体性能的核心基础材料。长期以来,高端树脂材料开发受制于“经验驱动的试错”…
